搶跑啟動EUV光刻膠業(yè)務(wù)，富士膠片目標(biāo)2024年市占
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當(dāng)前，EUV光刻膠的關(guān)注受到越來越多，能否制造出高端的EUV光刻膠，也將成為一個國家、一個企業(yè)能否在未來光刻技術(shù)領(lǐng)域獲得一席之地的關(guān)鍵判斷條件。日本企業(yè)在發(fā)展EUV光刻膠上一直是不遺余力，日刊工業(yè)新聞近日有報(bào)道稱，日本富士膠片已正式啟動EUV光刻膠業(yè)務(wù)，目標(biāo)在2024年之前獲得全球的10%市場占有率。富士膠片在生產(chǎn)據(jù)點(diǎn)導(dǎo)入高準(zhǔn)確度的質(zhì)量檢查設(shè)備等，目前已經(jīng)展開樣品出貨，計(jì)劃最快在2021年的前半開始量產(chǎn)。由于AI人工智能、IoT物聯(lián)網(wǎng)以及5G通訊的普及，半導(dǎo)體制程也朝著細(xì)微化進(jìn)展。此外，應(yīng)用EUV的光刻技術(shù)，也預(yù)估需求量將有所增長。富士膠片子公司、從事半導(dǎo)體材料業(yè)務(wù)的富士電子材料公司 (FFEM)，在日本靜岡工廠全新投資約15億日元（約人民幣9424萬元），安裝了最先進(jìn)EUV制程用途的半導(dǎo)體材料質(zhì)量評估設(shè)備。公司將通過此次導(dǎo)入最先進(jìn)檢查設(shè)備，來提升質(zhì)量并確保供貨穩(wěn)定。富士電子材料公司為了研發(fā)生產(chǎn)EUV光刻膠，包含這回導(dǎo)入的檢查設(shè)備在內(nèi)，一共投資了45億日元（約人民幣2.8億）。該公司生產(chǎn)ArF光刻膠的經(jīng)驗(yàn)，也有助于新產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。富士膠片位在美國的據(jù)點(diǎn)，進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨液 (CMP Slurry) 的研發(fā)生產(chǎn)，為了提升顯影液純度，該公司也從2018年12月起進(jìn)行100億日元（約人民幣6.2億元）的投資，強(qiáng)化半導(dǎo)體材料的競爭力，而在疫情影響下，遠(yuǎn)距工作的普及等，都使得半導(dǎo)體材料需求上升。除了富士膠片外，住友化學(xué)也計(jì)劃在2022年開始量產(chǎn)自己的EUV光刻膠。值得一提的是，全球的EUV光刻膠市場原本就是由日本企業(yè)所主導(dǎo)，全球90%左右的市場份額為日本的JSR和Shin-EtsuChemical等所占據(jù)，富士膠片以及住友化學(xué)的加入，都將加強(qiáng)日本在EUV光刻膠領(lǐng)域的壟斷。
來源：鉅亨網(wǎng)
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